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Plasma application(2) : thermal plasma processing for materials

Journal of the Illuminating Engineering Institute of Japan Volume 91 Issue 9

Creators : Fukumasa Osamu Publishers : 照明学会 Date Issued : 2007-09

Solution of radiative transfer in anisotropic plane-parallel atmosphere

Journal of quantitative spectroscopy and radiative transfer Volume 83 Issue 3-4

Creators : Tanaka Tasuku | Wang Menghua Publishers : Elsevier Date Issued : 2004-02

Uncertainty relation on Wigner-Yanase-Dyson skew information

Journal of mathematical analysis and applications Volume 365 Issue 1

Creators : Yanagi Kenjiro Publishers : Elsevier Date Issued : 2010-05

Study of ion bonberdment effect for Co-Cr films prepared by sputtering using electron cyclotron resonance microwave plasma

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 96 Issue 166

ECRスパッタ法によりCo-Cr膜を作成したとき、その磁気特性と結晶学的特性は成膜中の基板を照射するイオン加速電圧に強く依存することか明らかとなった。このイオン加速電圧はArガス圧とターゲット-基板間距離により制御することができ、イオン加速電圧を20V以下に適正化した結果、50nmの厚さのCo-Cr膜で、優れた結晶配向性(5゜以下のΔθ_<50>)、高い垂直異方性磁界(4kOe以上のH_k)、高い垂直方向力(1400Oe以上のH_<c⊥>)が得ることができた。

Preparation of Co-Cr magnetic thin films using magnetron sputtering assited by inductively coupled rf plasma

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 97 Issue 92

誘導結合型プラズマ(ICP)を利用したマグネトロンスパッタ装置を試作し、Co-Cr垂直磁気異方性膜の作製を行った。誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ装置では、高周波によるプラズマ生成と、ターゲットに印可した直流によるスパッタ成膜とが機能分離できているために、通常のマグネトロンスパッタ法ではプラズマの維持が不可能な低いターゲット電圧領域においてもCo-Cr薄膜の作成が可能なことが明らかになった。ICPを用いることで、通常のマグネトロンスパッタ法のみの場合よりも、高い成膜速度が実現できた。ICP電力を増すと、作製したCo-Cr膜の垂直磁気異方性は減少する傾向がみられた。大きな垂直磁気異方性をもつCo-Cr膜を高速に作製するには、ICPを用いることに加えて、正の基板バイアス電圧の印可を併用することが効果的であるとの見通しを得た。

Creators : 林利彦 | Yamamoto Setsuo | Kurisu Hiroki | 松浦満 Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 1997-06-13

Preparation of Co-Cr-Ta/Ti perpendicular magnetic recording disk using ECR-sputter-deposition

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 99 Issue 572

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマを利用したスパッタ成膜装置(ECRスパッタ装置)において、独自のパラメータであるマイクロ波電力に着目し、これを活用してCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスクの高性能化を試みた。プラズマ生成室に投入するマイクロ波電力を増加させると、生成されるプラズマ密度が増加し、成膜速度を高まること、成膜中に基板を照射するArイオンの量が増加することが明らかになった。Co-Cr-Ta膜の作製において、マイクロ波パワーを成膜初期には高パワーとし、途中からは低パワーに変更するという制御を行うことによって、グレインが微細で、磁気特性および記録特性に優れた垂直磁気ディスクをパワー一定とした従来よりも高速に作製できることを見出した。

Creators : 池田朋広 | Yamamoto Setsuo | 平田京 | Kurisu Hiroki | 松浦満 Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 2000-01-20

Electrochemical synthesis of layered manganese oxides intercalated with tetraalkylammonium ions

Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids Volume 21 Issue 1

Creators : Nakayama Masaharu | Konishi Sayaka | Tagashira Hiroki | Ogura Kotaro Publishers : American Chemical Society Date Issued : 2005-01

Involvement of heteroatoms in charge transfer of Keggin-type heteropolyanion

Chemical communications : chem comm Volume 2004 Issue 9

Creators : Nakayama Masaharu | Ii Takahiro | Komatsu Hiroyuki | Ogura Kotaro Publishers : Royal Society of Chemistry Date Issued : 2004

Fluorescence from pearls to distinguish mother oysters used in pearl culture

Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes Volume 26 Issue 4

Creators : Miyoshi Tadaki | Matsuda Yasunori | Komatsu Hiroshi Publishers : 応用物理学会 Date Issued : 1987

Laser-induced fluorescence and optical reflection spectra of Japanese natural dyes on silk

Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes Volume 26 Issue 2

Creators : Miyoshi Tadaki | Matsuda Yasunori Publishers : 応用物理学会 Date Issued : 1987

Immobilization of methylviologen between well-ordered multilayers of manganese oxide during their electrochemical assembly

Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids Volume 23 Issue 6

Electrodeposition of layered manganese oxide nanocomposites intercalated with strong and weak polyelectrolytes

Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids Volume 22 Issue 8

Creators : Nakayama Masaharu | Tagashira Hiroki Publishers : American Chemical Society Date Issued : 2006-04

Photoinduced formation of CdSSe nanocrystals in glass

Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes Volume 37 Issue 1

Creators : Miyoshi Tadaki | Fukuda Hirofumi | Matsuo Naoto Publishers : 応用物理学会 Date Issued : 1998-01

Analysis of abrupt discontinuities in weakly guiding waveguides by a modified beam propagation method

IEICE transactions on communications Volume E76-B Issue 12

Creators : Hotta Masashi | Geshiro Masahiro | Sawa Shinnosuke Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 1993-12

Real time observation of head-to-medium interface in flexible perpendicular magnetic recording disk system

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 86 Issue 63

Creators : Yamamoto Setsuo | 中村慶久 | 岩崎俊一 Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 1986-06-20

Comparison between longitudinal and perpendicular magnetic recording and reproduce mechanisms

ITEJ Technical Report Volume 15 Issue 66

Creators : Tagawa Ikuya | Yamamoto Setsuo | Shimizu Yukiya | Nakamura Yoshihisa Publishers : テレビジョン学会 Date Issued : 1991-11-14

Perpendicular magnetic rigid disk system using non-flying type single-pole head

ITEJ Technical Report Volume 14 Issue 23

Creators : Yamamoto Setsuo | 渡辺功 | 大内一弘 | 中村慶久 Publishers : テレビジョン学会 Date Issued : 1990-05-16

Recording characteristics in narrow track single-pole type head

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 91 Issue 41

Creators : 高野研一 | Yamamoto Setsuo | 村岡裕明 | 中村慶久 Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 1991-05-21

Surface waves along a boundary of single negative material

IEICE transactions on electronics Volume E88-C Issue 2

Creators : Hotta Masashi | Hano Mitsuo | Awai Ikuo Publishers : 電子情報通信学会 Date Issued : 2005-02

Relationship between control of reactive plasmas with magnetic filter and formation of thin films

Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes Volume 36 Issue 7B

Creators : Fukumasa Osamu | Tauchi Yasushi | Sakiyama Satoshi Publishers : 応用物理学会 Date Issued : 1997-07