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keywordferrite
publish year
2000 - 2004 1 2005 - 2009 1
keyword
ferrite 2 sputtering 2 ECR 1 ECR sputtering 1 ECRスパッタリング 1 electron cyclotron resonance 1 electron-cyclotron-resonance 1 low temperature processing 1 reactive sputtering 1 spark-plasma-sintering 1 スパッタリング 1 フェライト 1 低温作製 1 放電プラズマ焼結 1 電子サイクロトロン共鳴 1
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resource type
conference paper 1 journal article 1
school
大学院理工学研究科（工学） 2
Result 2 Items
Id (<span class="translation_missing" title="translation missing: en.view.desc">Desc</span>)
Development of low-temperature and high-rate-deposition technology for ferrite thin-films using ECR sputtering apparatus designed for mass production
粉体および粉末冶金 Volume 53 Issue 8
Creators : Yamamoto Setsuo | Matsuura Mitsuru | Okada Shigenobu | Shimosato Yoshihiro Publishers : 粉体粉末冶金協会 Date Issued : 2006-08
Low temperature fabrication methods of ferrite
マグネティックス, マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料 Volume MAG-01-19 ; MSS-01-07
Creators : Yamamoto Setsuo | Kurisu Hiroki | Matsuura Mitsuru Publishers : 電気学会 Date Issued : 2001-02
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