Yamamoto Setsuo

Affiliate Master Yamaguchi University

Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 101 Issue 399 Page 19-24

published_at 2001-10-31

Title

ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性

Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering

Abstract

反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。

Creators 平田京

Creators Yamamoto Setsuo

Creators Kurisu Hiroki

Creators 松浦満

Creators 土井孝紀

Creators 田万里耕作

Source Identifiers [PISSN] 0913-5685 [NCID] AN10013050

Creator Keywords

反応性ECRスパッタ法 Co含有酸化鉄薄膜メディア垂直磁気記録磁気記録メディア酸化処理

Languages jpn

Resource Type journal article

Publishers 電子情報通信学会

Date Issued 2001-10-31

File Version Not Applicable (or Unknown)

Access Rights metadata only access

Relations

[isVersionOf] [NAID]110003186648

[isPartOf] [URI]http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html

Schools 大学院理工学研究科（工学）