Yamamoto Setsuo
Affiliate Master
Yamaguchi University
Co-Cr perpendicular magnetic recording disks prepared by sputtering using ICP
IEICE technical report. Magnetic recording Volume 98 Issue 182
Page 15-21
published_at 1998-07-17
Title
誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク
Co-Cr perpendicular magnetic recording disks prepared by sputtering using ICP
Creator Keywords
誘導結合型プラズマ
スパッタ成膜法
ICP
Co-Cr膜
垂直磁気記録
誘導結合型プラズマ(ICP)生成法とマグネトロンスパッタ法を組み合わせたスパッタ装置を用いて、Co-Cr垂直磁気ディスクを作製した。このスパッタ装置において、ICPへの投入電力を変化させた場合の、プラズマ状態、作製したCo-Cr磁気ディスクの磁気特性・表面状態・記録特性などについて調べた。ICPへの投入電力と基板バイアス電圧によって、プラズマ中のイオンの量と基板を照射するイオンの加速電圧を、通常のマグネトロンスパッタ装置よりも広範囲に変化できることが明らかになった。また、ICP投入電力を増すにつれてスパッタ時のプラズマ密度が増すために成膜速度が増加し、ギャップ長が0.2μmのMIGヘッドを用いて接触記録を行なった場合に、高い再生電圧と180kFRPIを越えるD_<50>が得られた。
Languages
jpn
Resource Type
journal article
Publishers
電子情報通信学会
Date Issued
1998-07-17
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access
Relations
[NCID]AN10013050
[isVersionOf]
[NAID]http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186388/
[isVersionOf]
[URI]http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
Schools
大学院理工学研究科（工学）