Thermal stability of Co-containing ferrite thin-film media prepared by reactive ECR sputtering method
IEICE technical report. Magnetic recording Volume 101 Issue 335
Page 1-7
published_at 2001-10-04
Title
反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの熱安定性
Thermal stability of Co-containing ferrite thin-film media prepared by reactive ECR sputtering method
Abstract
反応性ECRスパッタ法を用いることにより、3000 Oe程度の高い垂直方向抗磁力と、垂直磁気異方性を示すCo含有酸化鉄薄膜メディアを、室温から150℃の低温で作製できる。このメディアの熱緩和特性、記録特性および再生電圧の時間変化について調べた。その結果、作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、市販のMPテープと同等の良好な熱安定性を有し、20 Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>および高記録密度領域での信号の時間減衰を示すことが明らかとなった。
Creators
平田 京
Creators
松浦 満
Creators
田中 輝光
Creators
鈴木 俊行
Source Identifiers
[PISSN] 0913-5685
[NCID] AN10013050
Creator Keywords
反応性ECRスパッタ法
Co含有酸化鉄薄膜
垂直磁気記録
磁気記録媒体
酸化処理
熱安定性
Languages
jpn
Resource Type
journal article
Publishers
電子情報通信学会
Date Issued
2001-10-04
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access
Relations
[isVersionOf]
[NAID]110003186633
Schools
大学院理工学研究科（工学）