Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering
IEICE technical report. Magnetic recording Volume 101 Issue 399
Page 19-24
published_at 2001-10-31
Title
ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性
Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering
Abstract
反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。
Creators
平田 京
Creators
松浦 満
Creators
土井 孝紀
Creators
田万里 耕作
Source Identifiers
[PISSN] 0913-5685
[NCID] AN10013050
Creator Keywords
反応性ECRスパッタ法
Co含有酸化鉄薄膜メディア
垂直磁気記録
磁気記録メディア
酸化処理
Languages
jpn
Resource Type
journal article
Publishers
電子情報通信学会
Date Issued
2001-10-31
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access
Relations
[isVersionOf]
[NAID]110003186648
[isPartOf]
[URI]http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
Schools
大学院理工学研究科（工学）