Co-Cr perpendicular magnetic recording disks prepared by sputtering using ICP

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 98 Issue 182 Page 15-21

published_at 1998-07-17

Title

誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク

Creators 池田朋広

Creators Yamamoto Setsuo

Creators kurisu Hiroki

Creators 松浦満

Creator Keywords

誘導結合型プラズマスパッタ成膜法 ICP Co-Cr膜垂直磁気記録

誘導結合型プラズマ(ICP)生成法とマグネトロンスパッタ法を組み合わせたスパッタ装置を用いて、Co-Cr垂直磁気ディスクを作製した。このスパッタ装置において、ICPへの投入電力を変化させた場合の、プラズマ状態、作製したCo-Cr磁気ディスクの磁気特性・表面状態・記録特性などについて調べた。ICPへの投入電力と基板バイアス電圧によって、プラズマ中のイオンの量と基板を照射するイオンの加速電圧を、通常のマグネトロンスパッタ装置よりも広範囲に変化できることが明らかになった。また、ICP投入電力を増すにつれてスパッタ時のプラズマ密度が増すために成膜速度が増加し、ギャップ長が0.2μmのMIGヘッドを用いて接触記録を行なった場合に、高い再生電圧と180kFRPIを越えるD_<50>が得られた。

Languages jpn

Resource Type journal article

Publishers 電子情報通信学会

Date Issued 1998-07-17

File Version Not Applicable (or Unknown)

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Relations

[NCID]AN10013050

[isVersionOf] [NAID]http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186388/

[isVersionOf] [URI]http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html

Schools 大学院理工学研究科（工学）