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Preparation of Co-Cr films using electron-cyclotron resonance microwave plasma sputtering: Effects of plasma control using a magnetic field

Journal of Magnetics Society of Japan Volume 22 Issue 2

Creators : 中村哲也 | Yamamoto Setsuo | 佐藤王高 | Kurisu Hiroki | 松浦満 | 前田安 | 廣野滋 Publishers : 日本応用磁気学会 Date Issued : 1998