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publish year2005 - 2009 keywordECR sputtering resource typejournal article school大学院理工学研究科(工学)
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Creators : 田中 輝光 | 石田 元 | Fujimori Hirotaka | 下里 義博 | 岡田 繁信 | 松浦 満 | Yamamoto Setsuo Publishers : 日本応用磁気学会 Date Issued : 2005