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誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成

電子情報通信学会総合大会講演論文集 Volume 1997 Issue 5 Page 66-
published_at 1997
2008010221.pdf
[fulltext] 258 KB
Title
誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成
Creators 林 利彦
Creators Yamamoto Setsuo
Creators Kurisu Hiroki
Creators 松浦 満
Languages jpn
Resource Type conference paper
Publishers 電子情報通信学会
Date Issued 1997
Rights
copyright c2008IEICE()
File Version Version of Record
Access Rights open access
Relations
[ISSN]1349-1369
[NCID]AN10471452
Schools 医学部