ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
        日本学術振興会磁気記録第144委員会研究会資料 Volume 122
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            Title
        
        ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
        
        
    
        
            Languages
        
            jpn
    
    
        
            Resource Type
        
        conference paper
    
    
        
            File Version
        
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            Access Rights
        
        open access
    
    
        
            Schools
        
            大学院理工学研究科(工学)
    
                
