Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma
東北大学電気通信研究所工学研究会スピニクス研究会活動報告書 Volume 平成5年度
Page 11-15
published_at 2001
Title
プラズマを活用してのフェライト薄膜の低温製造技術
Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma
平成12年度東北大学電気通信研究所 「共同プロジェクト研究会 H11-B01, マイクロ磁気システムの研究」工学研究会スピニクス研究会合同研究会資料集, 東北大学電気通信研究所, (Feb. 8-9, 2001).
Languages
jpn
Resource Type
conference paper
Publishers
東北大学電気通信研究所
Date Issued
2001
File Version
Version of Record
Access Rights
open access
Relations
[NCID]AN10442501
Schools
大学院理工学研究科（工学）