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超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 7 Page 56-56
published_at 2003
Title
超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
Creators 中山 則昭
Creators 諸橋 信一
Creators 原田 直幸
Source Identifiers
Languages jpn
Resource Type research report
Publishers 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Date Issued 2003
File Version Not Applicable (or Unknown)
Access Rights metadata only access
Schools 工学部