狭所機械物理センサの開発研究 : 電磁型平面スパオラルマイクロ距離センサの開発
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 3
Page 30-31
published_at 1999
Title
狭所機械物理センサの開発研究 : 電磁型平面スパオラルマイクロ距離センサの開発
Creators
栗林 勝利
Source Identifiers
Languages
jpn
Resource Type
research report
Publishers
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Date Issued
1999
File Version
Version of Record
Access Rights
open access
Schools
工学部