中山則昭

Affiliate Master Yamaguchi University

超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 7 Page 56-56

published_at 2003

Title

超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

Creators 中山則昭

Creators 諸橋信一

Creators 原田直幸

Source Identifiers

Languages jpn

Resource Type research report

Publishers 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー

Date Issued 2003

File Version Not Applicable (or Unknown)

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Schools 工学部