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Kurisu Hiroki

Affiliate Master Yamaguchi University

ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御

日本学術振興会磁気記録第144委員会研究会資料 Volume 122 Page 1-5
2009010358.pdf
[fulltext] 3.08 MB
Title
ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
Creators 山本 節夫
Creators 佐藤 王高
Creators 栗巣 普揮
Creators 松浦 満
Creators 前田 安
Creators 廣野 滋
Languages jpn
Resource Type conference paper
File Version Version of Record
Access Rights open access
Schools 大学院理工学研究科(工学)