Harada Naoyuki
Affiliate Master
Yamaguchi University
超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 7
Page 56-56
published_at 2003
Title
超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製
Source Identifiers
Languages
jpn
Resource Type
research report
Publishers
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
Date Issued
2003
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access
Schools
工学部