Yamamoto Setsuo

Affiliate Master Yamaguchi University

ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御

日本学術振興会磁気記録第144委員会研究会資料 Volume 122 Page 1-5

Title

ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御

Creators 山本節夫

Creators 佐藤王高

Creators 栗巣普揮

Creators 松浦満

Creators 前田安

Creators 廣野滋

Languages jpn

Resource Type conference paper

File Version Version of Record

Access Rights open access

Schools 大学院理工学研究科（工学）