Yamamoto Setsuo
Affiliate Master
Yamaguchi University
Low temperature fabrication methods of ferrite
マグネティックス, マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料 Volume MAG-01-19 ; MSS-01-07
Page 35-40
published_at 2001-02
Title
フェライトの低温作製法
Low temperature fabrication methods of ferrite
Creator Keywords
フェライト
電子サイクロトロン共鳴
スパッタリング
ECRスパッタリング
放電プラズマ焼結
低温作製
ferrite
electron-cyclotron-resonance
sputtering
ECR sputtering
spark-plasma-sintering
low temperature processing
Languages
jpn
Resource Type
conference paper
Publishers
電気学会
Date Issued
2001-02
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access
Schools
大学院理工学研究科（工学）