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Yamamoto Setsuo

Affiliate Master Yamaguchi University

Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma

東北大学電気通信研究所工学研究会スピニクス研究会活動報告書 Volume 平成5年度 Page 11-15
published_at 2001
2009010361.pdf
[fulltext] 2.17 MB
Title
プラズマを活用してのフェライト薄膜の低温製造技術
Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma
Creators Yamamoto Setsuo
Creators Kurisu Hiroki
Creators Matsuura Mitsuru
平成12年度東北大学電気通信研究所 「共同プロジェクト研究会 H11-B01, マイクロ磁気システムの研究」工学研究会スピニクス研究会合同研究会資料集, 東北大学電気通信研究所, (Feb. 8-9, 2001).
Languages jpn
Resource Type conference paper
Publishers 東北大学電気通信研究所
Date Issued 2001
File Version Version of Record
Access Rights open access
Relations
[NCID]AN10442501
Schools 大学院理工学研究科(工学)