誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成

電子情報通信学会総合大会講演論文集 Volume 1997 Issue 5 Page 66-

published_at 1997

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Title

誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成

Creators 林利彦

Creators Yamamoto Setsuo

Creators Kurisu Hiroki

Creators 松浦満

Languages jpn

Resource Type conference paper

Publishers 電子情報通信学会

Date Issued 1997

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Access Rights open access

Relations

[ISSN]1349-1369

[NCID]AN10471452

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