ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
日本学術振興会磁気記録第144委員会研究会資料 Volume 122
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ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作成 : 成膜室内の磁界分布による磁気的微細構造の制御
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大学院理工学研究科(工学)