Low temperature preparation of ferrite thin-films using ECR plasma

東北大学電気通信研究所工学研究会スピニクス研究会活動報告書 Volume 平成5年度 Page 11-15

published_at 2001

Title

プラズマを活用してのフェライト薄膜の低温製造技術

Creators Yamamoto Setsuo

Creators Kurisu Hiroki

Creators Matsuura Mitsuru

平成12年度東北大学電気通信研究所「共同プロジェクト研究会 H11-B01, マイクロ磁気システムの研究」工学研究会スピニクス研究会合同研究会資料集, 東北大学電気通信研究所, (Feb. 8-9, 2001).

Languages jpn

Resource Type conference paper

Publishers 東北大学電気通信研究所

Date Issued 2001

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Access Rights open access

Relations

[NCID]AN10442501

Schools 大学院理工学研究科（工学）