超高真空蒸着装置 : 洗浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 8 Page 56-56

published_at 2004

Title

超高真空蒸着装置 : 洗浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

Creators 中山則昭

Creators 諸橋信一

Source Identifiers

Languages jpn

Resource Type research report

Publishers 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー

Date Issued 2004

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Schools 工学部