超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 7 Page 56-56

published_at 2003

Title

超高真空蒸着装置 : 清浄真空下における薄膜新材料・デバイスの作製

Creators 中山則昭

Creators 諸橋信一

Creators 原田直幸

Source Identifiers

Languages jpn

Resource Type research report

Publishers 山口大学ベンチャービジネスラボラトリー

Date Issued 2003

File Version Not Applicable (or Unknown)

Access Rights metadata only access

Schools 工学部