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誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成

電子情報通信学会総合大会講演論文集 Volume 1997 Issue 5 Page 66-

published_at 1997

[fulltext] 258 KB

Title

誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成

Creators 林利彦

Creators Yamamoto Setsuo

Creators Kurisu Hiroki

Creators 松浦満

Languages jpn

Resource Type conference paper

Publishers 電子情報通信学会

Date Issued 1997

Rights

copyright c2008IEICE()

File Version Version of Record

Access Rights open access

Relations

[ISSN]1349-1369

[NCID]AN10471452

Schools 医学部