山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報

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山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報 Volume 7
published_at 2003

高誘電体薄膜に関する研究 : 高集積化MOSFETゲート絶縁膜への応用

高誘電体薄膜に関する研究 : 高集積化MOSFETゲート絶縁膜への応用
松尾 直人