| フルテキストURL | 2009010404.pdf ( 485.1KB ) 公開日 2010-04-16
|
|---|
| タイトル | Vibration and deflection of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot |
|---|
| 作成者 | Chonan, Seiji
Jiang, Zhong-wei
Yuki, Yasuhiro
|
|---|
| 作成者ヨミ | チョウナン, セイジ
コウ, ショウイ
ユウキ, ヤスヒロ
|
|---|
| 作成者別表記 | 長南, 征二
江, 鐘偉
|
|---|
| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
|
|---|
| 内容記述（抄録等） | First International Conference on Motion and Vibration Control, held at the Pacific Convention Plaza Yokohma (Pacifico Yokohama), 7-11 September, 1992.
|
|---|
| 本文言語 | eng
|
|---|
| 著者キーワード | vibration
deflecton
silicon-wafer slicer
crystal ingot
|
|---|
| 資料タイプ | text |
|---|
| ファイル形式 | application/pdf |
|---|
| 出版者 | 日本機械学会
|
|---|
| 出版者ヨミ | ニホン キカイ ガッカイ
|
|---|
| NII資料タイプ | 会議発表論文 |
|---|
| NCID | AA11902354
|
|---|
| 掲載誌名 | Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control |
|---|
| 開始ページ | 443 |
|---|
| 終了ページ | 448 |
|---|
| 発行日 | 1992 |
|---|
| 著者版/出版社版 | 出版社版 |
|---|
| リポジトリID | 2009010404 |
|---|
| 地域区分 | 山口大学
|
|---|
| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2009010404 |
|---|