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Stress analysis of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot
作成者 : Chonan, S. / Jiang, Z.W. / Yuki, Y. 掲載誌名 : Transactions of the ASME. Journal of mechanical design 巻 : 115 号 : 4 開始ページ : 711 終了ページ : 717 発行日 : 1993-12 リポジトリID : 2010010210
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