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Condition monitoring of silicon-wafer slicer cutting crystal ingots
作成者 : Jiang, Z. / Chonan, S. / Kawashima, K. / Muto, K. / Ichihara, W. 掲載誌名 : Structural health monitoring : current status and perspectives : proceedings of the International Workshop on Structural Health Monitoring 巻 : 号 : 開始ページ : 624 終了ページ : 635 発行日 : 1997 リポジトリID : 2009010421
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