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Flatness control of a silicon-wafer slicing blade cutting the crystal ingot
作成者 : Chonan, Seiji / Masui, Keijiro / Jiang, Zhong-wei 掲載誌名 : Proceedings of the Asia-Pacific Vibration Conference 巻 : 2 号 : 開始ページ : 1227 終了ページ : 1232 発行日 : 1993 リポジトリID : 2009010405
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