掲載誌名 別一覧
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Titanium alloy material with very low outgassing
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作成者 : Kurisu, H. / Muranaka, T. / Wada, N. / Yamamoto, S. / Matsuura, M.
掲載誌名 : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
巻 : 21
号 : 5
開始ページ : L10
終了ページ : L12
発行日 : 2003-08
リポジトリID : 2009010248
アクセス件数 ： 1032 件 ダウンロード件数 ： 0 件
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Production of highly uniform electron cyclotron resonance plasmas by distribution control of the microwave electric field
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作成者 : Furuse, Muneo / Watanabe, Seiichi / Tamura, Hitoshi / Fukumasa, Osamu
掲載誌名 : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
巻 : 17
号 : 6
開始ページ : 3225
終了ページ : 3229
発行日 : 1999-11
リポジトリID : 2007010009
アクセス件数 ： 945 件 ダウンロード件数 ： 897 件
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