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磁気フィルターによるバケット型プラズマ源内のプラズマパラメータの制御
作成者 : 繁山, 直樹 / 水野, 仁志 / 渡部, 健二 / 崎山, 智司 / 福政, 修 掲載誌名 : 山口大学工学部研究報告 巻 : 40 号 : 1 開始ページ : 213 終了ページ : 222 発行日 : 1989-10 リポジトリID : KJ00000156781
アクセス件数 : 529 件 ダウンロード件数 : 275 件

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