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Thermal decomposition of tetrabromosilane and deposition of crystalline silicon
作成者 : Nakayama, Masaharu / Miyamoto, Seiji / Ogawa, Takuro / Osae, Shogo / Tomono, Kazuaki / Sumimoto, Michinori / Sakata, Yoshihisa / Komatsu, Ryuichi 掲載誌名 : Materials Science in Semiconductor Processing 巻 : 23 号 : 開始ページ : 93 終了ページ : 97 発行日 : 2014-07 リポジトリID : 2014010302
アクセス件数 : 741 件 ダウンロード件数 : 0 件
Investigations on hydrobromination of silicon in the presence of silicon carbide abrasives as a purification route of kerf loss waste
作成者 : Tomono, Kazuaki / Furuya, Hirotoshi / Miyamoto, Seiji / Okamura, Yuki / Sumimoto, Michinori / Sakata, Yoshihisa / Komatsu, Ryuichi / Nakayama, Masaharu 掲載誌名 : Separation and purification technology 巻 : 103 号 : 開始ページ : 109 終了ページ : 113 発行日 : 2013-01-15 リポジトリID : 2012011196
アクセス件数 : 675 件 ダウンロード件数 : 0 件
Selective hydrobromination of metallurgical-grade silicon in a flow reactor system
作成者 : Tomono, Kazuaki / Okamura, Yuki / Furuya, Hirotoshi / Satoh, Miyu / Miyamoto, Seiji / Komatsu, Ryuichi / Nakayama, Masaharu 掲載誌名 : Journal of materials science 巻 : 47 号 : 7 開始ページ : 3227 終了ページ : 3232 発行日 : 2012-04 リポジトリID : 2011010522
アクセス件数 : 625 件 ダウンロード件数 : 0 件

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