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Spatial inhomogeneity of aluminum content in air-bridged lateral epitaxially grown AlGaN ternary alloy films probed by cross-sectional scanning near-field optical microscopy
作成者 : Ishibashi, Akihiko / Murotani, Hideaki / Yokogawa, Toshiya / Yamada, Yoichi 掲載誌名 : Japanese journal of applied physics 巻 : 51 号 : 3 開始ページ : 035604 終了ページ : 発行日 : 2012-03 リポジトリID : 2011010504
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