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Development of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot
作成者 : Jiang, Zhongwei / Fujiwara, Shusuke / Chonan, Seiji / Kawashima, Kazuo 掲載誌名 : International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics 巻 : 15 号 : 1-4 開始ページ : 67 終了ページ : 72 発行日 : 2001 リポジトリID : 2010010202
アクセス件数 : 719 件 ダウンロード件数 : 0 件
Development of ID-blade slicer monitoring system for cutting 12-inch silicon ingot
作成者 : Jiang, Zhongwei / Fujiwara, Shusuke / Chonan, Seiji / Kawashima, Kazuo 掲載誌名 : Applied electromagnetism and mechanics 巻 : 9 号 : 開始ページ : 539 終了ページ : 540 発行日 : 2001 リポジトリID : 2010010215
アクセス件数 : 549 件 ダウンロード件数 : 567 件

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