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AlN homoepitaxial growth on sublimation-AlN substrate by low-pressure HVPE
作成者 : Nomura, Takuya / Okumura, Kenta / Miyake, Hideto / Hiramatsu, Kazumasa / Eryu, Osamu / Yamada, Yoichi 掲載誌名 : Journal of crystal growth 巻 : 350 号 : 1 開始ページ : 69 終了ページ : 71 発行日 : 2012-07-01 リポジトリID : 2012010972
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