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フルテキストURL2008010013.pdf ( 1.6MB ) 公開日 2010-04-16
タイトルSpectroscopic measurement of DC plasma jet in diamond synthesis
作成者Sakiyama, Satoshi
Fukumasa, Osamu
Murakami, Tomohide
Kobayashi, Tsuyoshi
作成者ヨミサキヤマ, サトシ
フクマサ, オサム
ムラカミ, トモヒデ
コバヤシ, ツヨシ
作成者別表記福政, 修
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)In synthesis of diamond with a plasma jet under medium pressure, the morphology of the deposited particles depends strongly on the ratio of the methane gas flow rate to the hydrogen gas flow rate and the distance from the feed ring exit to the substrate. The relationship between the morphology of the deposited particles and the chemical species in the plasma jet is studied by means of emission spectroscopy, with a view toward achieving large-area deposition at a high rate. The intensity ratio of the CH to the Hα spectrum is strongly correlated with the quality of the diamond synthesized and the deposition area.
本文言語eng
著者キーワードdiamond synthesis
plasma jet
spectroscopic measurement
thermal plasma
chemical vapor deposition
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者応用物理学会
出版者ヨミオウヨウ ブツリ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0021-4922
NCIDAA10457675
掲載誌名Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes
36
7B
開始ページ5003
終了ページ5006
発行日1997-07
DOIinfo:doi/10.1143/JJAP.36.5003
関連情報URL(IsPartOf)http://www.ipap.jp/jjap/index.htm
著者版/出版社版著者版
リポジトリID2008010013
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010013