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タイトルECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性
タイトルヨミECR スパッタホウ デ サクセイ シタ Co ガンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ ジキ トクセイ オヨビ キロク トクセイ
タイトル別表記Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering
作成者平田, 京
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
土井, 孝紀
田万里, 耕作
作成者ヨミヒラタ, ケイ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。
本文言語jpn
著者キーワード反応性ECRスパッタ法
Co含有酸化鉄薄膜メディア
垂直磁気記録
磁気記録メディア
酸化処理
資料タイプtext
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0913-5685
NCIDAN10013050
掲載誌名電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
掲載誌名別表記IEICE technical report. Magnetic recording
101
399
開始ページ19
終了ページ24
発行日2001-10-31
関連情報URL(HasVersion)http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186648/
関連情報URL(IsPartOf)http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010331
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010331