| フルテキストURL | フルテキストリンクなし |
|---|
| タイトル | High thermal efficiency-type laminar plasma jet generator for plasma processing |
|---|
| 作成者 | Osaki, Katashi
Fukumasa, Osamu
Kobayashi, Akira
|
|---|
| 作成者ヨミ | オオサキ, カタシ
フクマサ, オサム
コバヤシ, アキラ
|
|---|
| 作成者別表記 | 大崎, 堅
福政, 修
|
|---|
| 作成者所属 | 山口大学大学院理工学研究科（工学）
|
|---|
| 内容記述（抄録等） | A laminar plasma jet was produced by the forced constricted-type plasma jet generator with a vortex gas injection-type nozzle, in which the forced elongated arc was constricted locally and the wall was cooled by the vortex gas flow. The stable and long laminar plasma jet with high heat energy was obtained at a total working gas flow rate of less than 7 l/min and a vortex gas flow ratio, i.e. the ratio of the vortex gas flow rate to the working gas flow rate, of 0.1?0.3. Also, the arc voltage?current characteristic of the elongated arc was a rising characteristic in spite of the low gas flow rate, and the thermal efficiency of this generator was improved slightly.
|
|---|
| 本文言語 | eng
|
|---|
| 著者キーワード | Plasma jet generator
Thermal plasma
Laminar plasma
Plasma processing
|
|---|
| 主題 | 電気電子工学
|
|---|
| 資料タイプ | text |
|---|
| 出版者 | Elsevier
|
|---|
| NII資料タイプ | 学術雑誌論文 |
|---|
| 査読の有無 | 査読あり |
|---|
| ISSN | 0042-207X
|
|---|
| NCID | AA00879589
|
|---|
| 掲載誌名 | Vacuum |
|---|
| 巻 | 59 |
|---|
| 号 | 1 |
|---|
| 開始ページ | 47 |
|---|
| 終了ページ | 54 |
|---|
| 発行日 | 2000-10 |
|---|
| DOI | info:doi/10.1016/S0042-207X(00)00253-0 |
|---|
| 関連情報URL(IsPartOf) | http://www.sciencedirect.com/science/journal/0042207X
|
|---|
| 著者版/出版社版 | その他 |
|---|
| リポジトリID | 2007020112 |
|---|
| 地域区分 | 山口大学
|
|---|
| URI | http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2007020112 |
|---|