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フルテキストURL2007010073.pdf ( 7.5MB ) 公開日 2010-04-16
タイトルEffects of permanent magnet arrangements and antenna locations on the generation of multicusp electron cyclotron resonance plasma
作成者Namura, Takashi
Arikata, Ichio
Fukumasa, Osamu
Kubo, Makoto
Itatani, Ryohei
作成者ヨミナムラ, タカシ
アリカタ, イチロウ
フクマサ, オサム
クボ, マコト
イタタニ, リョウヘイ
作成者別表記福政, 修
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)A comparative study on the generation of 2.45-GHz multicusp electron cyclotron resonance (ECR) plasma is performed. Looped cusp structures such as the ring-cusp give a low-power and low-pressure ignition, and vice versa, indicating an importance to keep the electron trajetory of gradient-B drift motion inside the chamber even in the case of ECR plasmas. The importance of the antenna location in such multicusp fields is elucidated by comparison in two cases of the axial antenna located in the weak magnetic field region, generating a hydrogen plasma of limited density (ne<7.4×10 10cm-3), and a radial antenna located in the strong magnetic field region, generating an overdense plasma (ne~2×10 11cm-3).
本文言語eng
主題電気電子工学
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者American Institute of Physics
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0034-6748
掲載誌名Review of Scientific Instruments
63
1
開始ページ21
終了ページ30
発行日1992-01
DOIinfo:doi/10.1063/1.1142961
関連情報URL(IsPartOf)http://rsi.aip.org/rsi/
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2007010073
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2007010073