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タイトルECRスパッタ法で作製したCo-Cr-Ta垂直磁気ディスク
タイトルヨミECR スパッタホウ デ サクセイ シタ Co-Cr-Ta スイチョク ジキ ディスク
タイトル別表記ECR-sputter-deposited Co-Cr-Ta perpendicular recording disk
作成者山本, 節夫
池田, 朋広
平田, 京
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミヤマモト, セツオ
イケダ, トモヒロ
ヒラタ, ケイ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Sputtering method utilizing electron-cyclotron-resonance microwave plasma was used to fabricate Co-Cr-Ta perpendicular magnetic recording disks. Ta addition was proved to be effective to increase coercivity and squareness in perpendicular direction of magnetic layer. A perpendicular recording disk with 60 nm thick Co-Cr-Ta layer showed superior signal-to-media noise ratio to a 4 Gb/in^2 longitudinal disk at densities higher than 90 kFRPI. Ti underlayer was effective to improve perpendicular orientation, and increase coercivity, squareness, high-density recording characteristics.
本文言語jpn
著者キーワードECR
sputtering
Co-Cr-Ta
perpendicular magnetic recording
資料タイプtext
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0285-0192
NCIDAN0031390X
掲載誌名日本応用磁気学会誌
掲載誌名別表記Journal of Magnetics Society of Japan
23
S2(Supplement)
開始ページ55
終了ページ58
発行日1999
関連情報URL(IsPartOf)http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010329
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010329