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タイトルプラズマ酸化法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの記録特性
タイトルヨミプラズマ サンカホウ デ サクセイ シタ Co ガンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ キロク トクセイ
タイトル別表記Recording characteristics of Co-γFe_2O_3/NiO thin film media fabricated by plasma oxidation
作成者鶴田, 活己
棚町, 信次
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
土井, 孝紀
田万里, 耕作
作成者ヨミヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)まず最初に、CoFeの合金ターゲットを用いて酸素雰囲気中での反応性スパッタ法によってCoO-Fe_3O_4薄膜を成膜し、次にこれを二種類の方法で酸化させることによってCo-γFe_2O_3に変態させて薄膜磁気ディスクを作製した。用いた酸化法の一つは、従来から提案している大気中で昇温させることによる熱酸化法であり、もう一つは筆者らが最近提案した方法で、電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマ生成法とHeによるペニング電離作用を利用して生成した酸素プラズマを照射するプラズマ酸化法である。プラズマ酸化法で作製した磁気メディアは、大気中熱酸化法で作製した場合と比較して、電磁変換特性、記録密度特性についてはほぼ同等の特性を示し、ノイズ特性についてはより良好な特性を示すことがわかった。また本メディアがもつ特長である高抗磁力特性を生かして、本メディアをマザーメディアとして使用することによって、1600 Oe程度の磁気メディアに磁気転写できることも確認した。
本文言語jpn
著者キーワードCo-γFe_2O_3
磁気ディスク
高抗磁力
プラズマ酸化
記録特性
磁気転写
資料タイプtext
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0913-5685
NCIDAN10013050
掲載誌名電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
掲載誌名別表記IEICE technical report. Magnetic recording
99
112
開始ページ25
終了ページ31
発行日1999-06-10
関連情報URL(HasVersion)http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186459/
関連情報URL(IsPartOf)http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010327
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010327