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フルテキストURL2008010221.pdf ( 258.4KB ) 公開日 2010-04-16
タイトル誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成
タイトルヨミユウドウ ケツゴウ カタ プラズマ シエン マグネトロンスパッタ ホウ ニヨル Co-Cr ジセイ ハクマク ノ サクセイ
作成者林, 利彦
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミハヤシ, トシヒコ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学医学部
本文言語jpn
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ会議発表論文
ISSN1349-1369
NCIDAN10471452
掲載誌名電子情報通信学会総合大会講演論文集
1997
5
開始ページ66
発行日1997
権利関係copyright c2008IEICE
著者版/出版社版出版社版
リポジトリID2008010221
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010221