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タイトルペニング電離を利用したCo含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法
タイトルヨミペニング デンリ オ リヨウ シタ Co ガンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ テイオン コウソク サクセイホウ
タイトル別表記Low-temperature and high-speed fabrication of Co-γ Fe_2O_3/NiO thin film media using penning ionization
作成者山時, 照章
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
中田, 健一
柿原, 康男
土井, 孝紀
田万里, 耕作
作成者ヨミヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
ドイ, タカノリ
タマリ, コウサク
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Co-γFe_2O_3/NiO薄膜磁気メディアの作製プロセスの中で、CoO-Fe_3O_4薄膜を酸化処理する工程を、プラズマ中の酸素イオンを照射することで行なうことを試みた。その結果、(1)電子サイクロトロン共鳴(ECR)マイクロ波によって生成した酸素イオンの利用、(2)準励起状態にあるHe原子によって酸素分子のイオン化を促進するペニング電離効果の利用、(3)サンプルのチャージアップ対策、が有効であることがわかった。本手法では、大気中昇温による従来の酸化処理で要していた処理時間を1/500~1/1000にあたる10秒程度に短縮でき、プロセス温度を約1/2の150℃に下げることができた。
本文言語jpn
著者キーワードCo-γFe_2O_3
プラズマ酸化
電子サイクロトロン共鳴プラズマ
ペニング電離
薄膜媒体
低温作製
資料タイプtext
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
NCIDAN10013050
掲載誌名電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
掲載誌名別表記IEICE technical report. Magnetic recording
98
103
開始ページ7
終了ページ14
発行日1998-06-11
関連情報URL(HasVersion)http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186376/
関連情報URL(IsPartOf)http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010339
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010339