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タイトル誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク
タイトルヨミユウドウ ケツゴウガタ プラズマ オ モチイタ スパッタホウ デ サクセイ シタ Co-Cr スイチョク ジキ ディスク
タイトル別表記Co-Cr perpendicular magnetic recording disks prepared by sputtering using ICP
作成者池田, 朋広
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミイケダ, トモヒロ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)誘導結合型プラズマ(ICP)生成法とマグネトロンスパッタ法を組み合わせたスパッタ装置を用いて、Co-Cr垂直磁気ディスクを作製した。このスパッタ装置において、ICPへの投入電力を変化させた場合の、プラズマ状態、作製したCo-Cr磁気ディスクの磁気特性・表面状態・記録特性などについて調べた。ICPへの投入電力と基板バイアス電圧によって、プラズマ中のイオンの量と基板を照射するイオンの加速電圧を、通常のマグネトロンスパッタ装置よりも広範囲に変化できることが明らかになった。また、ICP投入電力を増すにつれてスパッタ時のプラズマ密度が増すために成膜速度が増加し、ギャップ長が0.2μmのMIGヘッドを用いて接触記録を行なった場合に、高い再生電圧と180kFRPIを越えるD_<50>が得られた。
本文言語jpn
著者キーワード誘導結合型プラズマ
スパッタ成膜法
ICP
Co-Cr膜
垂直磁気記録
資料タイプtext
出版者電子情報通信学会
出版者ヨミデンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
NCIDAN10013050
掲載誌名電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
掲載誌名別表記IEICE technical report. Magnetic recording
98
182
開始ページ15
終了ページ21
発行日1998-07-17
関連情報URL(HasVersion)http://ci.nii.ac.jp/naid/110003186388/
関連情報URL(IsPartOf)http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010338
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010338