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タイトルバイアス・スパッタ法によるCo-Cr垂直磁気記録媒体の作製
タイトルヨミバイアス スパッタ ホウ ニヨル Co-Cr スイチョク ジキ キロク バイタイ ノ サクセイ
タイトル別表記Fabrication of Co-Cr pependicular magnetic recording media by bias sputtering
作成者山本, 節夫
松本, 隆之
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミヤマモト, セツオ
マツモト, タカユキ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Co-Cr perpendicular magnetic recording media were fabricated by using an RF diode sputtering apparatus with applying DC bias voltage to a substrate holder. As the DC bias voltage increases, perpendicular orientation of cobalt c-axis deteriorates, and perpendicular magnetic anisotropy decreases. At the proper bias voltage, high perpendicular coercivity is achieved by moderating the influence of impurity gas, and consequently the high reproduced voltage is obtained at high-densities.
本文言語jpn
著者キーワードperpendicular magnetic recording
Co-Cr
sputtering
bias
資料タイプtext
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0285-0192
NCIDAN0031390X
掲載誌名日本応用磁気学会誌
掲載誌名別表記Journal of Magnetics Society of Japan
17
S2(Supplement)
開始ページ231
終了ページ236
発行日1993
関連情報URL(IsPartOf)http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010361
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010361