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タイトルECRスパッタ法により作製したCo-Cr垂直磁気異方性膜の磁気特性
タイトルヨミECR スパッタホウ ニヨリ サクセイ シタ Co-Cr スイチョク ジキ イホウセイマク ノ ジキ トクセイ
タイトル別表記Magnetic properties of Co-Cr films prepared by sputtering using electron cyclotron resonance microwave plasma
作成者佐藤, 王高
山本, 節夫
栗巣, 普揮
松浦, 満
作成者ヨミサトウ, キミタカ
ヤマモト, セツオ
クリス, ヒロキ
マツウラ, ミツル
作成者別表記Yamamoto, Setsuo
Kurisu, Hiroki
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
内容記述(抄録等)Co-Cr single-layer perpendicular anisotropy films were prepared on polyimide films by sputtering using electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma. The dependence of the crystallographic and magnetic properties of the Co-Cr films on the Ar gas pressure, P_<Ar>, and the target-to-substrate distance, D_<T-S>, was investigated. An 0.09,μm thick Co-Cr film with excellent c-axis orientation?namely, Δθ_<50> of 3.35°?, a high perpendicular magnetic anisotropy field of 4.5 kOe, and a high perpendicular coercivity H_<c⊥> of 1530 Oe was achieved at a relatively high P_<Ar> of 8×10^<-2> Pa and a large D_<T-S> of 230 mm. It may be surmised that ion bombardment with moderate energy in the P_<Ar> and D^<T-S> conditions described above is suitable for the deposition of Co-Cr perpendicular anisotropy films.
本文言語jpn
著者キーワードCo-Cr
perpendicular magnetic recording
recording media
ECR sputtering
ion energy
資料タイプtext
出版者日本応用磁気学会
出版者ヨミニホン オウヨウ ジキ ガッカイ
NII資料タイプ学術雑誌論文
査読の有無査読あり
ISSN0285-0192
NCIDAN0031390X
掲載誌名日本応用磁気学会誌
掲載誌名別表記Journal of Magnetics Society of Japan
20
2
開始ページ57
終了ページ60
発行日1996
DOIinfo:doi/10.3379/jmsjmag.20.57
関連情報URL(IsPartOf)http://www.wdc-jp.com/msj/journal/index.html
著者版/出版社版その他
リポジトリID2008010360
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2008010360