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フルテキストURLDT12100656_Abstract.pdf ( 7.6MB ) 公開日 2015-06-12
DT12100656_FullText.pdf ( 9.7MB ) 公開日 2015-06-12
タイトル熱CVDプロセスにおける反応モデルの構築および熱物質移動解析
タイトル別表記Construction of reaction model and heat and mass transfer analysis in thermal CVD process
作成者羽鳥, 祐耶
作成者ヨミハトリ, ユウヤ
作成者所属山口大学大学院理工学研究科
学位論文博士(工学)
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
NII資料タイプ学位論文
発行日2015
著者版/出版社版学位論文本文あり
リポジトリIDDT12100656
地域区分山口大学
学位授与番号理工博甲第656号
学位授与年月日2015-03-16
学位名博士(工学)
学位授与機関山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/DT12100656