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タイトルSingle-crystal diamond tools formed using a focused ion beam : tool life enhancement via heat treatment
作成者Kawasegi, Noritaka
Ozaki, Kazuma
Morita, Noboru
Nishimura, Kazuhito
Sasaoka, Hideki
作成者ヨミカワセギ, ノリタカ
オザキ, カズマ
モリタ, ノボル
ニシムラ, カズヒト
ササオカ, ヒデキ
作成者別表記笹岡, 秀紀
作成者所属山口大学大学院理工学研究科(工学)
本文言語eng
著者キーワードDiamond
Ultra-precision machining
Single-crystal diamond tool
Focused ion beam
Heat treatment
Etching
Amorphous
Tool life
資料タイプtext
出版者Elsevier
NII資料タイプ学術雑誌論文
ISSN0925-9635
NCIDAA10819710
掲載誌名Diamond and related materials
49
開始ページ14
終了ページ18
発行日2014-10
DOIinfo:doi/10.1016/j.diamond.2014.07.013
関連情報URL(IsPartOf)http://www.sciencedirect.com/science/journal/09259635
著者版/出版社版その他
リポジトリID2014010728
地域区分山口大学
URIhttp://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/2014010728